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Wasserstoffperoxid leistet bei der halbleiterproduktion ganze arbeit

HALBLEITERPRODUZENTEN VERTRAUEN AUF DIE VIELSEITIGKEIT VON WASSERSTOFFPEROXID

In vielen heutigen Schlüsseltechnologien sind Halbleiter unerlässlich. Schließlich verarbeiten sie elektronische Signale und übertragen Informationen. Somit sind Halbeiter entscheidend für Automobilsensoren, Smartphones, Server, medizinische Geräte, Roboter sowie Solar- und Windkraftanlagen.

Nach ultrareinem Wasser ist Wasserstoffperoxid (H2O2) die meistgenutzte Chemikalie bei der Wafer-Herstellung in der Mikrochip-Produktion. Da es dabei in seine harmlosen Bestandteile Wasser und Sauerstoff zerfällt, wird Wasserstoffperoxid als grüne Chemikalie betrachtet. Bei der Herstellung von Halbleitern entfernt H2O2 verschiedene Verunreinigungen in allen Wafer-Schichten und sorgt für hochertragreiche, funktionale Mikrochips.

Ein genauerer Blick zeigt: Wasserstoffperoxid ist eine äußerst vielseitige Chemikalie. Denn jenseits der Chipindustrie hilft H2O2 wertvolle Metalle aus Batterien zu recyceln und Solarmodule herzustellen.

ÜBERALL, WO ELEKTRONIK IM EINSATZ IST, SIND HALBLEITER INVOLVIERT. DESHALB SIND SIE IN …

Woman in casuals standing in office by a window with phone in hand. Businesswoman with mobile phone in hand.

... elektronischen Geräten

(z. B. Smartphones, Laptops, TV, Spielekonsolen, Digitalkameras)

Halbleiter sind in modernen Saugrobotern verbaut.

... modernen Haushaltsgeräten

(z. B. Kühlschränke, Waschmaschinen, Staubsauger-Roboter)

Halbleiter steuern die Komponenten in modernen Fahrzeugen.

... Fahrzeugen

(z. B. Autos, Flugzeuge, Schiffe)

Halbleiter sorgen für Präzision und Zuverlässigkeit in medizinischen Geräten wie z.B. MRTs

... medizinischen Geräten

(z. B. Herzschrittmacher, MRT, Ultraschall- und Röntgengeräte)

Halbleiter sorgen für hohe Datenraten in der Satellitentechnik

... Netzwerk- und Kommunikationstechnik

(z. B. Mobilfunk, Satellitenkommunikation)

Halbleiter kommen in der Hinterleuchtung von Displays vor

... Beleuchtung

(LED lamps)

Halbleiter sind unverzichtbarer Bestandteil in Photovoltaik und Windkraft

... erneuerbaren Energien

(z. B. Solarpanels, Windkraftanlagen, Smart Grids)

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... Industrieanwendungen

(z. B. Robotik, Sensorik, Präzisionsgeräte, Energiemanagement, Leistungselektronik)


ABER JETZT MAL GENAUER HINGESCHAUT: WAS BEWIRKT H₂O₂ GENAU BEI DER HALBLEITERPRODUKTION?

In Kombination mit bestimmten anderen Chemikalien reinigt Wasserstoffperoxid Wafer-Oberflächen: Es beseitigt effektiv verschiedene Arten von Oberflächenverunreinigungen und Rückständen und sorgt als Oxidationsmittel dafür, Metallschichten auf dem Wafer zu entfernen. Die Halbleiterindustrie greift jedenfalls schon lange auf Wasserstoffperoxid als Reinigungsmittel zurück. Denn jede Verunreinigung auf einem Halbleiter kann seine Funktionsfähigkeit stark beeinträchtigen. Hochreines H2O2 reduziert die Defektraten auf den Wafern erheblich und verbessert den Gesamtertrag, bis die Wafer das Ende der Produktionslinie erreichen. Dies erhöht die Anzahl von funktionierenden Mikrochips. Angesichts der Tatsache, dass jede Form von Verunreinigung einen Halbleiter unbrauchbar machen kann, müssen die Hygienebedingungen in den Produktionsanlagen strenger sein als in den Operationssälen eines Krankenhauses.

Wasserstoffperoxid entfernt Verunreinigunen auf Waferoberflächen

Daneben kann Wasserstoffperoxid seltene Metalle recyceln …
Die Stärken von H2O2 sind auch anderswo gefragt. Etwa in der Kreislaufwirtschaft. Wasserstoffperoxid unterstützt das Zurückgewinnen begehrter Metalle aus Lithium-Ionen-Batterien. Es verkürzt den Recycling-Prozess und gestaltet ihn effizient. Insbesondere Lithium, Kobalt und Nickel gelangen so erneut in den Produktionskreislauf.

Wasserstoffperoxid unterstützt die Rückgewinnung von Metallen
aus Lithium-Ionen-Batterien.

… und Nanopartikel für Solarmodule bereitstellen
Wenn es darum geht, Nanopartikel aus Silizium für die Solarindustrie bereitzustellen, dann ist das ebenfalls ein Fall für H2O2. Indem es die Nanoteilchen aus kristallinem Silizium herauslöst, leistet es die Vorarbeit, um diese später auf Solarmodule aufbringen zu können. Dort ermöglichen die Nanopartikel, die Kraft der Sonne in Energie umzuwandeln. All diese Einsatzzwecke machen Wasserstoffperoxid zu einer zukunftsweisenden Chemikalie.

In Solarmodulen ermöglichen Nanoteilchen, Sonnenkraft in Energie umzuwandeln

KRAFTVOLL UND DOCH SCHONEND: WASSERSTOFFPEROXID HINTERLÄSST KEINERLEI SCHADSTOFFE, DA ES IN WASSER UND SAUERSTOFF ZERFÄLLT.


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Batterierecycling

Hydrogen peroxide for semiconductor and electronics manufacturing

Halbleiter

Hydrogen peroxide for solar panel manufacturing

Solarzellen