HALBLEITERPRODUZENTEN VERTRAUEN AUF DIE VIELSEITIGKEIT VON WASSERSTOFFPEROXID
In vielen heutigen Schlüsseltechnologien sind Halbleiter unerlässlich. Schließlich verarbeiten sie elektronische Signale und übertragen Informationen. Somit sind Halbeiter entscheidend für Automobilsensoren, Smartphones, Server, medizinische Geräte, Roboter sowie Solar- und Windkraftanlagen.
Nach ultrareinem Wasser ist Wasserstoffperoxid (H2O2) die meistgenutzte Chemikalie bei der Wafer-Herstellung in der Mikrochip-Produktion. Da es dabei in seine harmlosen Bestandteile Wasser und Sauerstoff zerfällt, wird Wasserstoffperoxid als grüne Chemikalie betrachtet. Bei der Herstellung von Halbleitern entfernt H2O2 verschiedene Verunreinigungen in allen Wafer-Schichten und sorgt für hochertragreiche, funktionale Mikrochips.
Ein genauerer Blick zeigt: Wasserstoffperoxid ist eine äußerst vielseitige Chemikalie. Denn jenseits der Chipindustrie hilft H2O2 wertvolle Metalle aus Batterien zu recyceln und Solarmodule herzustellen.
ABER JETZT MAL GENAUER HINGESCHAUT: WAS BEWIRKT H₂O₂ GENAU BEI DER HALBLEITERPRODUKTION?
In Kombination mit bestimmten anderen Chemikalien reinigt Wasserstoffperoxid Wafer-Oberflächen: Es beseitigt effektiv verschiedene Arten von Oberflächenverunreinigungen und Rückständen und sorgt als Oxidationsmittel dafür, Metallschichten auf dem Wafer zu entfernen. Die Halbleiterindustrie greift jedenfalls schon lange auf Wasserstoffperoxid als Reinigungsmittel zurück. Denn jede Verunreinigung auf einem Halbleiter kann seine Funktionsfähigkeit stark beeinträchtigen. Hochreines H2O2 reduziert die Defektraten auf den Wafern erheblich und verbessert den Gesamtertrag, bis die Wafer das Ende der Produktionslinie erreichen. Dies erhöht die Anzahl von funktionierenden Mikrochips. Angesichts der Tatsache, dass jede Form von Verunreinigung einen Halbleiter unbrauchbar machen kann, müssen die Hygienebedingungen in den Produktionsanlagen strenger sein als in den Operationssälen eines Krankenhauses.
Daneben kann Wasserstoffperoxid seltene Metalle recyceln …
Die Stärken von H2O2 sind auch anderswo gefragt. Etwa in der Kreislaufwirtschaft. Wasserstoffperoxid unterstützt das Zurückgewinnen begehrter Metalle aus Lithium-Ionen-Batterien. Es verkürzt den Recycling-Prozess und gestaltet ihn effizient. Insbesondere Lithium, Kobalt und Nickel gelangen so erneut in den Produktionskreislauf.
… und Nanopartikel für Solarmodule bereitstellen
Wenn es darum geht, Nanopartikel aus Silizium für die Solarindustrie bereitzustellen, dann ist das ebenfalls ein Fall für H2O2. Indem es die Nanoteilchen aus kristallinem Silizium herauslöst, leistet es die Vorarbeit, um diese später auf Solarmodule aufbringen zu können. Dort ermöglichen die Nanopartikel, die Kraft der Sonne in Energie umzuwandeln. All diese Einsatzzwecke machen Wasserstoffperoxid zu einer zukunftsweisenden Chemikalie.